電子デバイスの発展に伴って微細加工技術はナノスケールに及んでおり、その評価技術もさらに重要性を高めています。材料、特に結晶といったものの構造を解析するにはX線回折法が広く用いられています。 しかし回折法においては結晶の周期性を利用しており、欠陥や界面での構造といった非周期な構造は平均化されたデータに埋もれてしまい、それらを解析するのが困難となります。それに対して顕微鏡学的手法は構造の情報を実像で得ようとするもので、構造評価技術として非常に有用なものとして利用されてきています。本研究室では、様々な電子顕微鏡を使って分子・原子スケールでの直接観察を行い、様々な材料の構造および物性解析をおこなっております。 まさに百聞は一見に如かずです。
　またエネルギー分散型X線分光法(EDS)や電子エネルギー損失分光法(EELS)などといった分光学的手法を顕微鏡に組み合わせた場合、構造のみならずナノスケール領域での組成や電子状態についても知る事ができます。
以上の様な観点から我々は顕微鏡における新たな分析・解析手法の確立、そしてそれらを利用した材料評価を目指して研究を行っております。