透過電子顕微鏡

JEM ARM-200F
(TEM/STEM)

加速電圧
200 kV, 60kV

モノクロメーター
ダブルウィーンフィルター

球面収差補正(TEM/STEM)
CEOS社製

エネルギーフィルター
Gatan966 QuantumERS

EDS装置
JED-2300T SDD100GV (JEOL製)

JEM-2200FS
(TEM/STEM)

加速電圧
200kV

球面収差補正装置 (TEM)
CEOS社製

エネルギーフィルター
Ωフィルター

 

JEM 2100F (G5)
(TEM)

加速電圧
200 kV

ヘリウムステージ
ヘリウム保持時間: 4時間

JEM9980-TKP1
(STEM)

加速電圧
200 kV

電子銃
Nano-tip cold-FEG

エネルギーフィルター
Ωフィルター

球面収差補正器 (STEM)
JEOL製

EDS分析器