透過電子顕微鏡
JEM ARM-200F
(TEM/STEM)
加速電圧
200 kV, 60kV
モノクロメーター
ダブルウィーンフィルター
球面収差補正(TEM/STEM)
CEOS社製
エネルギーフィルター
Gatan966 QuantumERS
EDS装置
JED-2300T SDD100GV (JEOL製)
JEM-2200FS
(TEM/STEM)
加速電圧
200kV
球面収差補正装置 (TEM)
CEOS社製
エネルギーフィルター
Ωフィルター
JEM 2100F (G5)
(TEM)
加速電圧
200 kV
ヘリウムステージ
ヘリウム保持時間: 4時間
JEM9980-TKP1
(STEM)
加速電圧
200 kV
電子銃
Nano-tip cold-FEG
エネルギーフィルター
Ωフィルター
球面収差補正器 (STEM)
JEOL製
EDS分析器